介绍斑点真空泵选择的注意事项

选择斑点真空泵需要注意以下事项：

1.speck真空泵的工作压力应满足极端真空和真空设备工作压力的要求。例如，真空涂层需要110-5mmhg的真空度，所选真空泵的真空度应至少为510-6mmhg。通常，泵的真空度比真空设备的真空度高半到一个数量级。

2、正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围。例如，扩散泵为10-3～10-7mmhg。在如此宽的压力范围内，泵的泵速随压力变化，其稳定工作压力范围为510-4～510-6mmhg。因此，泵的工作点应选择在此范围内，并且不能在10-8mmhg下长时间运行。另一个例子是钛升华泵可以在10-2mmhg下工作，但其工作压力应低于110-5mmhg。

3、 斑点真空泵在其工作压力下，应能排出真空设备过程中产生的所有气体。

4、正确组合真空泵。由于真空泵具有选择性泵送，有时选择一台泵不能满足泵送要求，需要将多台泵组合起来，相互补充以满足泵送要求。例如，钛升华泵具有较高的氢泵送速度，但无法泵送氦，而三极溅射离子泵（或两极非对称阴极溅射离子泵）具有一定的氩泵送速度。两者的结合将使真空装置获得更好的真空。此外，一些真空泵不能在大气压力下工作，需要预真空；一些真空泵出口压力低于大气压力，这需要一个前级泵，因此有必要将泵组合使用。

5、油污染的真空设备要求。如果设备严格要求无油，则应选择各种油泵，如水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，则可以选择油泵，并采取一些防止油污染的措施，如添加冷阱、挡板、油阱等。，还可以满足清洁真空的要求。

6、了解抽取气体的成分、气体是否含有可冷凝蒸汽、是否有颗粒粉尘、是否有腐蚀性等。选择真空泵时，需要了解气体成分，并为抽取的气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒和腐蚀性气体，应考虑在泵的进气管道上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等

7、真空泵排出的油蒸汽对环境有何影响。如果环境不允许污染，可以选择无油真空泵，或将油蒸气排放到室外。

8、真空泵在运行过程中产生的振动是否对工艺和环境产生影响。如果不允许该过程，请选择无振动的泵或采取防振动措施。

9、真空泵的价格、运行维护费用。

水环真空泵

1、 泵类型

水泵的类型主要取决于运行所需的风量、真空度或排气压力。

泵工作时，需要注意以下两个方面：要求尽可能在临界真空度或临界排气压力区域内工作。避免在高真空或高排气压力附近操作。该区域的操作不仅效率极低，而且不稳定，容易产生振动和噪音。对于高真空度的真空泵，在该区域工作时经常出现气穴现象。这种现象的明显迹象是泵内的噪音和振动。气穴会损坏泵体、叶轮和其他零件，使泵无法工作。

根据上述原则，当泵所需的真空或气压不高时，可优先从单级泵中选择。如果真空或排气压力高，单级泵往往无法满足，或者要求泵在高真空下有大量气体，即在高真空下要求性能曲线平坦，因此可以选择两级泵。如果真空度要求在-710mmhg以上，可以选择水环常压泵或水环罗茨真空机组作为真空泵装置。