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旋片式真空泵的抽真空方式
文章出处：技术资讯 网站编辑：莱诺科技 阅读量： 发表时间：2022-06-29 00:00:00旋转叶片真空泵这是一种机械真空泵，使用一对高速旋转的双叶转子（即“s”形和草鞋形）来泵出气体。其结构和工作原理与罗茨鼓风机相似。由于泵转子和腔体之间通常有一个很小的间隙（0.1～0.15mm），因此可以保证在10-1～10-2托之间有较大的泵速，这正好弥补了油封机械泵和油扩散泵在此压力范围内泵速较小的缺陷，并起到了增加真空系统压力的作用。
旋转叶片真空泵在高压下，气体分子的平均自由程小于间隙的宽度（<；0.1-0.15mm）。相对而言，间隙具有相当大的导电性，容易使大量气体通过间隙流回泵送容器，使泵无法有效工作。相反，在低压下，气体分子的平均自由程增大，间隙的电导率大大降低，即通过小间隙的气体泄漏阻力增大，泵可以有效工作，获得更高的压缩比，即更高的真空度。
因此，旋转叶片真空泵泵送的气体不能直接排放到大气中，因此必须配备前级真空泵，在旋片式真空泵的排气端产生一定的预真空，否则无法获得更高的真空度。转子会因过载、过热而卡住甚至损坏。
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