旋片真空泵在微电子工业中成功应用

东莞市来诺机电科技有限公司的旋片真空泵已成功应用于微电子行业。旋片真空泵多为中小型真空泵。旋片真空泵包括单级旋片真空泵和双级真空泵。所谓双级旋片真空泵，就是将两个单级泵在结构上串联起来。一般分为两个阶段，以获得更高的真空度。

微电子技术对电子元器件和电路的尺寸要求越来越小，对集成度的要求也越来越高。这与真空技术的应用，尤其是超大规模集成电路的微加工技术密切相关。几何图形结构的形成、超薄层生长技术和粒子束注入技术都需要高质量、洁净的真空环境，可见其发展对真空技术、装备的依存性。目前，超大规模集成电路的工序需要真空条件(旋片真空泵能够提供)。

因此，莱诺旋片真空泵在微电子技术中发挥了一定的作用。

微电子技术是建立在以集成电路为核心的各种半导体器件基础上的高新电子技术，特点是体积小、重量轻、可靠性高、工作速度快，微电子技术对信息时代具有巨大的影响。

微电子技术是在传统电子技术的基础上发展起来的。之所以称之为“微电子”，顾名思义就是微小范畴内的先进技术，其特点是“四微”:

①它对信号的加工处理是在一种固体内的微观电子运动中实现的；

②它的工作范围是固体的甚至晶格级微区；

③对信号的传递交换只在极微小的尺度内进行；

④它的容积很大，可以把一个电子功能部件，甚至一个子系统集成在一个微型芯片上。总之，微电子技术是指在几乎肉眼看不见的范围内进行工作的一种独特而神奇的特种技术。

微电子技术也对电子产品的消费市场产生了深远的影响。价格低廉、可靠性高、体积小、重量轻的微电子产品层出不穷。电子科技产品和微处理器不再是专业科学仪器世界里的贵族，而是落户于各式各样的普及型产品之中，进入普通人的家中。例如电子玩具、游戏机、学习机和其他家用电器。就连汽车这种传统机械产品也已经渗透进了微电子技术，采用微电子技术的电子引擎监控系统、汽车安全防盗系统、出租车计价器等已得到广泛的应用。现代汽车有时甚至有几十到几十个微处理器。

本文主要介绍旋片真空泵在微电子工业中的成功应用。旋片真空泵广泛应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油、医药等生产和科研部门。已普遍应用于食品的真空包装，塑料工业的真空吸塑成形。印刷行业的纸张输送，真空夹具，以及真空吸引等。